由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測儀檢測精度低、易偏移、難于校準(zhǔn)等缺點(diǎn)給實(shí)際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響，SIMV涂層(膜厚)在線測厚儀，采用納米光學(xué)干涉的方式，可同時對20層不用涂層、薄膜進(jìn)行同時測量，同時精度高達(dá)1nm，完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測厚儀有輻射、偏移周期長、檢測精度低、不能檢測涂層厚度的缺點(diǎn)。賽默斐視涂層厚度在線測厚儀檢測精度高，同時能夠?qū)崟r在線自動校準(zhǔn)，有效的保證了在線測厚儀的檢測精度。