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薄膜表面缺陷在線檢測系統(tǒng)

2023-12-18 0

  賽默斐視薄膜表面缺陷在線檢測系統(tǒng)是一款針對薄膜表面缺陷進(jìn)行檢測的系統(tǒng),在生產(chǎn)中主要用于各種不同種類薄膜的缺陷檢測,包括:氣泡、劃痕、灰塵、斑點等。該系統(tǒng)采用賽默斐視自主研發(fā)的智能圖像處理算法,可有效地識別膜表面的缺陷,如:氣泡、劃痕、灰塵、斑點等,具有精度高,速度快,可靠性高,不會對產(chǎn)品造成損壞的優(yōu)點。

  該系統(tǒng)采用相關(guān)系數(shù)法準(zhǔn)確求出薄膜灰度圖像的最小重復(fù)周期,根據(jù)最小重復(fù)周期確定兩個比對圖像塊并求出差值圖像,再將差值圖像二值化再進(jìn)行形態(tài)學(xué)處理,最后經(jīng)過面積約束條件找出薄膜瑕疵所在位置。充分利用FPGA并行處理的優(yōu)勢,提高了圖像處理的速度。實踐應(yīng)用證明,該系統(tǒng)能夠在300 m/min的薄膜生產(chǎn)線上成功檢測出瑕疵面積僅10個像素的瑕疵。

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